氣體質(zhì)量流量控制器的流量測(cè)量以及控制是不會(huì)受到溫度以及壓力的影響的，跟傳統(tǒng)的設(shè)備來(lái)比較，是不需要配置溫度、壓力的變送器，也不需要進(jìn)行溫度、壓力的補(bǔ)償就可以直接測(cè)量質(zhì)量流量。如果需要保持氣體和混合氣體作為混料或者是配料，又或者是進(jìn)行優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程，那么氣體質(zhì)量流量控制器就能夠很好的完成這一門(mén)技術(shù)。想要的控制氣體的給定量，那么在很多過(guò)程中是對(duì)流量控制要求較高的工藝比較有用。如果是很寬的工作壓力范圍，氣體質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)，并且還有很寬的流量方法。

　　氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

　　氣體質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與氣體質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。

　　氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

　　(1)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。

　　對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器看完這些一目了然則一般可以忽略不計(jì)。

　　(2)測(cè)量控制的自動(dòng)化

　　氣體質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接，進(jìn)行自動(dòng)控制。

　　(3)地定量控制流量

　　氣體質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

　　(4)適用范圍寬

　　有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿(mǎn)量程的0.1%，流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100%(量程比為--50:1)，因此氣體質(zhì)量流量控制器在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。